因為直線電機具有結構簡單、適合高速直線運動、初級繞組利用率高、無橫向邊緣效應、容易克服單邊磁拉力問題、易于調節和控制、適應性強以及高加速度八大優勢，所以其在高精密加工中的應用，具有十分顯著的優勢。
超精密加工是制造業中的前沿科學，在工作尤其是國防工業中起著舉足輕重的作用，巡航導彈的慣性制導裝置陀螺儀，雷達的關鍵器件波導管，衛星儀表上的精密軸承、大型集成電路等無不涉及到超精加工。在超精機床中，為進行機床加工誤差的在線補償，以提高加工的形狀精度；為進行某些特殊的非軸對稱表面的加工，都需要微量進給裝置，高精度微量進給裝置現已成為超精機床的重要關鍵裝置。
目前，臺灣上銀（HIWIN）直線電機在精密微進給裝置中有著廣泛的應用，其原理就是利用電致伸縮效應。電致伸縮效應的變形量和電場強度的平方成正比。它能實現高剛度的無間隙位移；分辨力可達1.0~2.5nm；且變形系數大；有很高頻率，其響應時間達100μs。為增大行程，一般電機都是由多片晶體串疊在一起粘合使用，尺蠖式壓電陶瓷電機則是通過三個單獨控制的管狀陶瓷壓電器件組成，其中A、B作徑向伸縮，以便夾緊和松開電機軸，而器件C作軸向伸縮，使電機軸產生軸向位移，實現步進直線運動。
美國LLL國家實驗室的DTM-3大型金剛石車床和LODTM大型光學金剛石車床、英國Cranfieid公司的OAGM2500大型精密機床都已采用了電致伸縮式微量進給裝置。
超聲波電動機（USM）是國內外日益受到重視的一種新型直接驅動電機，廣義地說也是一種壓電陶瓷電動機，它利用壓電陶瓷的逆壓電效應，將材料的微觀變形通過共振放大和摩擦耦合轉換成轉子或者滑塊的宏觀運動，壓電陶瓷在適當的電壓作用下可以形成單一方向的運動的行波。轉子以適當的壓力作用于彈性體表面上，則將在質點摩擦力的驅動下產生運動。改變行波方向，則轉子反向。
在超精密加工中，為了要加工出形狀精度高的非球曲面，要求超精機床的進給驅動系統有很高的分辨力，達到每脈沖移動量為0.01μm，國外已有幾家著名大公司擁有該產品，但對我國禁運。目前國內國防科技大學、哈爾濱工業大學、清華大學等正開展此方面的研究。超聲波電動機具有小型輕量、響應速度快、無電磁干擾以及低速大轉矩等特點，行程在10cm范圍內可取代傳統的電磁電機。帶有反饋閉環控制的步進驅動超聲電動機，其步進分辨率約0.01μm，有望代替機械式摩擦驅動方式。日本東京大學研制的聲表面波式直線USM，步進分辨力高達5nm。 2.3 在異形截面加工領域中的應用。
采用直線電機的直線運動，運動機構由于具有響應快、精度高的特點，已成功地用于異型截面工件（汽車發動機活塞、波瓣形軸承外環滾道、活塞環及凸輪等）的計算機控制的精密車削和磨削加工。與傳統的采用“靠模”加工異型內外圓輪廓的方法相比，具有編程修改靈活、加工精度高的特點，十分適合多品種、小批量產品的加工。
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